LED基板研磨砂輪

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    在半導體元器件的前段加工中,晶圓基板的減薄研磨需要用各種各樣的鑽石砂輪,常用的LED基板有砷化鎵(GaAs)和人造藍寶石(即單晶氧化鋁)。在對這兩種材料的減薄研磨中。必須保證基板的平行度和表面粗糙度.同時整個晶圓不得有任何細微的裂紋。這就對所使用的鑽石砂輪提出了很高的要求,我們經過與公司客戶密切合作,開發出了適合這兩種材料的砂輪。



LED基板研磨砂輪規格:

結合劑 形狀 D W X H 粒度 用途
陶瓷
金屬
6A2 150 3-10 5-10 M12*1.75 D300-3000 藍寶石/ 砷化鎵
6A9S 254 4 8+1 155 D300-3000 矽晶圓回收
6A9S 254 3-4 10+2 155 D300-400 藍寶石
 
結合劑       形狀 適用於GaAs等半導體材料的平面研磨
  D X U L H 粒度
樹脂  6A9 150 3 8 20 M12 D400-2000
其它規格可根據客戶要求製作。